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尺寸/直径 :

50mm	75mm	100mm	125mm
150mm	200mm	300mm

参考面:

Single-SEMI Standard

Double-SEMI Standard

Notch-SEMI Standard

等级:

Reclaim	Dummy	Mechanical
Test	Prime	Particle Monitor

电阻率:

~ ohm-cm

型/掺杂剂:

P/Boron	N/Phosphorous
N/Arsenic	N/Antimony

洁净度:

≤ @ ≥ microns

晶向:

100

111

110

薄膜种类:

厚度:

	SEMI Standard
	~ microns

数量:

其它参数要求:

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